近日，中微公司宣布其MOCVD设备系列喜迎又一里程碑：全球第500台MOCVD设备顺利付运国内领先的LED外延片和芯片研发生产制造商。

中微公司表示，本批次运付的第500台MOCVD设备为Prismo UniMax，主要用于氮化镓基Mini LED外延片量产。随着近些年来光电产业的飞速发展，Mini LED已广泛应用于电视、笔记本电脑、平板电脑、桌面显示器、车载显示屏、户外显示屏等终端产品。

官方介绍称，Prismo UniMax是专为高性能Mini LED量产而设计的MOCVD设备，其具备高产能和高灵活性的特点，在同一系统中可配备多达4个反应腔，每个反应腔均可实现独立控制。Prismo UniMax配置了785mm大直径石墨托盘，通过石墨托盘的不同设计配置，最多可实现同时加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，有效提高产能并降低生产成本。此外，Prismo UniMax创新的多区辅助加热调节系统，能精确控制托盘局部区域温度，有助于更大程度提升LED波长均匀性。