中微半导体设备 (上海) 股份有限公司创办于 2004 年，主要从事高端半导体设备及泛半导 体设备的研发、生产和销售。公司瞄准世界科技前沿基于在半导体设备制造产业多年积累的 专业技术涉足半导体集成电路制造、先进封装、LED 外延片生产、功率器件、MEMS 制造以 及其他微观工艺的高端设备领域。公司的等离子体刻蚀设备已应用在国际一线客户从 65 纳 米到 14 纳米、7 纳米和 5 纳米及其他先进的集成电路加工制造生产线及先进封装生产线。 公司 MOCVD 设备在行业领先客户的生产线上大规模投入量产，公司已成为世界排名前列的 氮化镓基 LED 设备制造商。 2019 年 7 月 22 日中微半导体获证监会批准准予科创板首次公开发行股票注册成为科创板 开板以来首批获批上市企业之一，市值最高超过 1500 亿元。